Мембранно чувствителен елемент. Общ изглед (а) и изглед отпред (б): 1: конзола; 2: жилище; 3: междуцифров преобразувател.
Методи за закрепване на конзолата: твърда (а) и с помощта на силиконово лепило (б): 1: конзола; 2: жилище; 3: силиконово лепило.
Разпределение на товара за твърдо закрепване (а) и силиконово лепило (б).
Изместване на конзолата с твърдо закрепване (a) и силиконово лепило (b).
Изместване на конзолата с твърдо закрепване (a) и силиконово лепило (b).
Междуцифрова геометрия на преобразувателя.
SAW-разпределение на повърхността на конзолата.
Реален (а) и въображаем (б) компонент на прием за LiNbO3.
Действителен (а) и въображаем (б) компонент на допускане за AlN.
Параметър S11 за SiO2 (a), LiNbO3 (b) и AlN (c).
Графика на промяната на честотата при ускорение.
Графики за разпределение на натоварването (а) и изместване (б) за кварца.
Графика на промяната на честотата при температура.
Графика на промяната на честотата в зависимост от температурата при ускорение от 100 g.
Графика на минималната стойност на ускорението.
Разпределение на товара в присъствието на IM.
Графика на промяната на честотата при ускорение.
Резюме
1. Въведение
2. Дизайн на чувствителни елементи
3. Компютърна симулация
3.1. Метод за закрепване на чувствителен елемент
3.2. Честота Характеристика
10% (286 MHz [16] и 316,5 MHz). От това можем да заключим за адекватността на използвания модел. Честотната разлика се дължи на факта, че през последните 10 години пиезоелектрическите характеристики на алуминия са усъвършенствани. Също така в нашата работа бяха използвани само програмните функции. В допълнение към моделирането, статиите [16,17] използваха аналитичния метод. Не разгледахме по-високите честоти, тъй като това е непрактично за микромеханични сензори, базирани на SAW, поради драстично нарастване на енергийните загуби и по този начин точността на модела в тази лента е под въпрос поради липсата на тяхното експериментално валидиране.
170. Този модел е използван за потвърждаване на неговата адекватност [16,17]. За да намалим системните загуби и да увеличим коефициента на качество, ние увеличихме IDT диаметъра два пъти. Качественият фактор на резонатора се увеличи с шест пъти и изтичането на енергия стана незначително.
3.3. Външни влияния върху SE
77 Hz/° C в диапазона от -40 ° C до 60 ° C.
3.4. Поставяне на инерционната маса на конзолата
3.5. Общи препоръки за проектиране
43 Hz/° C за SiO2,
107 Hz/° C за LiNbO3,
77 Hz/° C за AlN, поне в рамките на изследвания диапазон между -40 ° C и 60 ° C.
- Хранителни вещества Безплатен пълнотекстов ефект на поведенческите интервенции за управление на теглото, използващи начин на живот
- Без излишък на фолиева киселина в пълнотекстови хранителни вещества увеличава съхранението на липидите, увеличаването на теглото и мастната тъкан
- Безплатни пълнотекстови въздействия на отслабването върху плазмения лептин и адипонектин в
- Хранителни вещества Пълнотекстови индол-3-пропионова киселина, произведен от триптофан бактериален метаболит,
- Сензори Безплатен пълен текст Сравнително проучване на окисляването на сребърен триъгълник без етикет