Имате достъп до документ от OSTI.GOV на Министерството на енергетиката (DOE). Този сайт е продукт на Службата за научна и техническа информация (OSTI) на DOE и се предоставя като обществена услуга.

глава

Посетете OSTI, за да използвате допълнителни информационни ресурси в енергетиката и технологиите.

Резюме

Устройствата за радиочестотна микроелектромеханична система (RF MEMS) са микромащабни устройства, които постигат превъзходна производителност в сравнение с други технологии, като се възползват от точността, прецизността, материалите и миниатюризацията, налични чрез микроизработка. За да направят това, тези устройства използват своите механични и електрически свойства, за да изпълняват специфична РЧ електрическа функция като превключване, предаване или филтриране. RF MEMS е популярна област на научни изследвания от началото на 90-те години и през последните няколко години технологията е узряла достатъчно за комерсиализация и използване в търговски пазарни системи.